湖南工匠实创智能机器有限责任公司

离子束抛光机
IBP300/600/1000离子束机床
其它系列产品
IBP系列离子束抛光机，采用稀有气体离子轰击光学镜片表面，实现原子级别分辨率的材料去除，是迄今为止最高精度的加工方式之一。

材料适用性：石英、微晶、ULE、BK7、单晶硅、SiC、蓝宝石、白宝石等

形状适用性：平面、球面、二次曲面、高次非球面、自由曲面

加工精度：优于1/600λ（λ=632.8nm）RMS

表面粗糙度：优于0.5nm RMS

  • 产品优势
  • 产品参数
产品优势
技术优势：非接触式加工，不引起疵病，且能有效去除光学表面残留的金属离子等污染；可实现亚纳米量级材料去除分辨率，加工精度极高；材料去除稳定性24小时内优于2%，加工确定性好；5轴联动，适应一般高次非球面和自由曲面加工。
产品优势：我司精心研发的最新一代的离子束抛光机采用了自主开发的低污染离子源，进一步抑制离子源自身带来的溅射污染，满足用户对污染控制的极端需求；支持进口和国产耗材替换，大幅节约使用成本；软硬件上支持一盘多片加工，无需反复抽真空，能耗小，生产率高；可选远程真空操作控制和一键真空抽取功能，更加智能化简单化。
 
产品参数
项目 IBP300 IBP600 IBP1000 IBP2000
床身材料 真空专用腔
运动轴数 X/Y/Z/A/B五轴联动（可选X/Y/Z三轴机型）
加工空间 400×400×150mm 700×700×200mm 1100×1100×250mm 2200×2200×300mm
最大可加工工件重量 100kg 300kg 500kg 800 kg
XYZ行程 400×400×120mm 700×700×160mm 1100×1100×220mm 2200×2200×260mm
AB行程 ±45°（可选±50°）
驱动形式 X/Y/Z真空直线电机
A /B真空伺服电机+减速机
重复定位精度 X/Y/Z ≤±5μm
A/B ≤±20"
最大运动速度 X/Y/Z 6000mm/min
A/B 20rpm
最大运动加速度 X/Y/Z 2.5m/s2
极限真空度 4×10-4Pa
工作真空度 1×10-2Pa
抽真空时间 1.5h
离子源类型 射频型
最大射频功率 300W
离子束径 1-40mm
离子能量 100-2000eV
最大束电流 50mA
最大束电压 2000V
连续稳定工作时间 不小于300h（可升级至500h）
外形尺寸（宽*进深*高） 5000mm×4000mm×2500mm 5500mm×6500mm×3000mm 6500mm×7000mm×3500mm 7500mm×8000mm×4000mm
产品重量 4000kg 8000kg 14000kg 40000kg
工作气压 0.7Mpa
最大功率 14KW 20KW 23KW 45KW
工作电压 三相交流3×380V±10%
环境温度 建议20±2℃
湿度范围 建议≤50%
加工精度 PV优于1/100λ (λ=632.8nm)
RMS优于1/600λ (λ=632.8nm)
加工表面粗糙度 RMS优于0.5nm
工艺软件 支持平面、球面、非球面、离轴非球面、自由曲面轮廓输入
支持去除函数库文件制作
支持.xyz/.dat等多种格式面形误差处理
选配功能 一盘多片加工软硬件支持
摄像头和探针自动对刀支持
离子源高频脉冲闪断输出软硬件支持
溅射污染等级满足20-10的要求