IBP系列高能等离子体抛光机应用案例一、经济精度修形（优于1λ RMS1/100λ RMS，平面/球面/非球面）

• 初始状态：表面为光学面，面形误差优于1λ RMS，无明显瑕疵。

• 最终状态：面形误差优于1/100 λ RMS，维持前道工序表面粗糙度和疵病等级。

• 工艺过程：离子束抛光迭代3次以内。

• 加工时间：φ180mm口径光学元件，根据入口情况，约1-3小时在机加工时间。