IBP系列高能等离子体抛光机应用案例二、非球面精修/压高边

• 初始状态：表面为光学面，面形误差优于0.1λ RMS，无明显瑕疵，或存在局部高点、翘边。

• 最终状态：面形误差优于1/100 λ RMS，维持前道工序表面粗糙度和疵病等级。

• 工艺过程：离子束抛光1次。

•加工时间：170mm口径光学元件，根据入口情况，约1小时在机加工时间。