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APP系列数控小工具头抛光机应用案例一:经济精度修形

2023.03.28 117 字号 A- A A+

APP系列数控小工具头抛光机应用案例一:经济精度修形(1λ RMS→1/40λ RMS,熔石英)

 

 

 

• 初始状态:表面为光学面,面形误差1λ RMS左右,无明显瑕疵。

• 最终状态:表面粗糙度小于0.6nm,面形误差优于1/40λ RMS,疵病等级40/20。

• 工艺过程:小磨头抛光结合1至2次手工修边。

•加工时间:600mm口径光学元件,100~120小时在机加工时间。

•典型案例:熔石英材料,630mm中心带孔,二次曲面形状,初始面形精度0.639λ RMS,最终面形精度0.023λ RMS,在机加工时间115小时。

 

 

 


 

 


初始面形精度: 0.639λ RMS(Zygo波面干涉仪检测)


最终面形精度: 0.023λ RMS(Zygo波面干涉仪检测)