MRP系列磁流体抛光机应用案例一:经济精度修形(1λ RMS→1/70λ RMS,微晶)
• 初始状态:表面为光学面,面形误差1λ RMS左右,无明显瑕疵。
• 最终状态:表面粗糙度小于1nm,面形误差优于1/70λ RMS,疵病等级20/10。
• 工艺过程:磁流变抛光结合小磨头光顺。
•加工时间:600mm口径光学元件,70~90小时在机加工时间。
•典型案例:微晶材料,600mm圆形截面,平面面形,初始面形精度1.034λ RMS,最终面形精度0.015λ RMS,在机加工时间80小时。