MRP系列磁流体抛光机应用案例二:高精度修形(0.3λ RMS→1/100λ RMS,熔石英)
• 初始状态:表面为传统抛光后亮面,面形误差0.3λ RMS左右,无明显瑕疵。
• 最终状态:表面粗糙度小于1nm,面形误差优于1/100λ RMS,疵病等级20/10。
• 工艺过程:磁流变抛光。
•加工时间:200mm口径光学元件,10~12小时在机加工时间。
•典型案例:微晶材料,200mm圆形截面,二次曲面面形,初始面形精度0.308λ RMS,最终面形精度0.010λ RMS,在机加工时间12小时。